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阴极发光（guāng）是一种光谱（pǔ）分析方法，通过电子束轰击（jī）材料产（chǎn）生发光后，用来（lái）在局部范围（wéi）内（nèi）鉴别材料中的点缺陷（xiàn）和杂质（zhì）缺陷，应用于（yú）微电子，半导体材料，绝缘体，地质学（xué）和矿物学等领（lǐng）域。
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